淨化車間氣流設計及潔淨度管控重點

　　潔淨室(Clean Room)為專業術語，行業通俗稱謂淨化車間或者無塵車間，亦稱為無塵室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵室工作桌在潔淨室的設計中,應根據生產工藝對潔淨度需求,選擇合適的氣流組織方式。
　　1.亂流式(Turbulent Flow)：即空氣由空調箱經風管與淨化車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，並由淨化車間兩側回風柱或回風牆回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。 其優點：構造簡單、系統建造成本低，淨化車間之擴充比較容易，室內局部生產區域，可並用無塵工作台，提高淨化車間等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染制程產品。
　　2.層流式(Laminar)：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級較高的潔淨車間使用，一般其潔淨室等級為Class1-100。其形式可分為二種：
　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，無塵室工作站一般在下流側汙染較嚴重。 優點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。 缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。 優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點：建造費用較高。